Elektrostatiskā adsorbcijas jonu ventilators
LCD ražošanā, stikla substrāta kļūst lielāks un arī ir uzlabota spēja piesaistīt maksas. Substrāta lielā apjoma dēļ samazinās ražu var izraisīt inficēšanos. Tāpat kā citās nozarēs piesārņojuma kontroli, LCD nozare ir meklējusi jaunus materiālus, kas ESD problēmas var atrisināt. Materiāliem, ko izmanto cleanrooms arī ir lielāka iespēja izmantot antistatisku jonu pūtēji un jaunu materiālu var pielaikoja vates tamponus un lupatas, nevis tradicionālajiem materiāliem.
Lielākā problēma ar ESD vadības tīras telpas ir tīras telpas cilvēku pārvietošanos. Tāpēc, ka cilvēki valkā daudz poliestera audumus, tie rada daudz elektriskais lādiņš. Vienīgais veids, kā noņemt šo maksu par tīras telpas ir uz zemes.
Pēdējo piecu gadu laikā, ir konstatēts, ka apģērba sistēmas, kas izgatavotas no oglekļa šķiedru maisījuma un audums nodrošina tīras telpas prasības ISO 5 (klase 100).
Katru daļu apģērba ir pašu elektrisko vadītspēju un elektriski vadošs savienojumu no motora pārsegs, ar vienīgo. Personām, kas strādā tīras telpas var iziet cauri vadošs zoli bez zemējuma, kad šāda apģērbā, tāpēc, ka viņi nav ierobežota ar iezemējuma vadu garumu.
Šāda darba apģērbu rašanās ir augstas prasības attiecībā uz produktu, kas palīdz samazināt zema raža un slikti augsto izraisīja ESD problēmas tīras telpas rezultāts.
Nav lēti un ātri labošanas metodes ESD jonu ventilatoru kontrolei. Galvenais ir, lai kontrolētu ESD suspendēto laminārās plūsmas jonu ventilatoru, piemēram, vai instalēt jonu ventilatora blakus materiāls, kas ir nepieciešams kontroles ESD. Tā kā mikroshēmu (IC) lielums samazinās, kļūst jutīgāki pret ESD. Tagad, ESD vadības neaprobežojas tikai ar darba tīkla aizsardzībai, bet arī vafeļu un darbinieki, kas ražo oblātu kontrolei. Daudzi uzņēmumi ar augstiem standartiem ir kontrolēt ESD šādā veidā.
